Panimula ng Plasma Cleaner

Ang plasma, tulad ng mga solido, likido, at mga gas, ay isang estado ng bagay, na kilala rin bilang pang-apat na estado ng bagay. Ang plasma ay nabuo kapag ang sapat na enerhiya ay inilapat sa isang gas upang ionize ito. Ang mga "aktibong" bahagi ng isang plasma ay kinabibilangan ng mga ions, electron, reactive radical, excited nuclides (metastable states), at photon. Ginagamit ng mga plasma surface treatment system ang mga katangian ng mga aktibong sangkap na ito upang gamutin ang mga sample surface, na makamit ang mga layunin tulad ng paglilinis, pagbabago, at photoresist ashing.